- 测量范围：200μm~950μm
- 轴向分辨率：30nm ~120nm
- 线宽：0.96mm~1.92mm
- XYZ轴位移量：0.1μm
- 工件重量：20kg
- XYZ轴定位：1μm
3D表面粗糙度仪TR scan
TR-Scan系列非接触表面微观形貌(粗糙度)测量仪，系统采用TRIMOS技术数字全息三维显微测量技术(DHM)，广泛应用于高精密微观表面检查。与传统非接触测量技术相比，测量速度快，对震动不敏感，真正的实现三维形貌纳米级测量。模块化的设计理念，可配置共焦显微系统, 探针测量系统，传感器直接更换，方便快捷，极大的满足了不同的应用范围。即可用于计量单位和材料科学研发实验室，也广泛应用在工业制造领域：汽车、航天、航空、表面涂层、医疗产品、微型电机系统、半导体等行业。
3D表面粗糙度仪TR scan主要特点：
◆ 非接触式测量原理，无损化检测粗糙度，微观形貌
◆ 独有的数字全息三维显微技术，真正实现3D微观形貌测量
◆ 创新的成像原理，从原理上保证了对外界振动不敏感，Z轴分辨率高
◆ 激光找正工件并自动定位，测量速度快
◆ 模块化的设计概念，多种光学光路原理，直接更换传感器，不需要调整，方便快捷
◆ 可非标定制相应的测量头，满足不同客户的特殊工件测量要求
◆ 即可选用数字全息技术实现高精密表面测量，也可选用色谱共焦技术实现微观轮廓测量或选用接触式探针实 现内壁粗糙度测量
◆ 惯用了Trimos“智能用户界面”的理念，测量过程全 自动，操作简单
◆ 采用的3D形貌分析软件，功能强大，即可实现2D轮廓测量，也可进行3D形貌分析
◆ 可进行编程批量检测并自动生成分析
◆ 完全兼容2D标准，并已内置即将制定的3D标准
3D表面粗糙度仪TR scan技术参数：
| 工作台移动范围X | 100mm | ||
| 工作台移动范围Y | 固定式 | ||
| 工作台移动范围Z | 240mm | ||
| XYZ轴位移量 | 0.1μm | ||
| XYZ轴定位 | 1μm | ||
| XY轴导轨直线度 | 1.5μm | ||
| 工件重量 | 20kg | ||
| 测量原理 | 非接触式多点谱线共焦传感器 | ||
| 光源 | 白色LED共轴光，高强光，数字可控 | ||
| 色谱共焦传感器 | CLS0.2 | CLS1 | CLS4 |
| 线宽 | 0.96mm | 1.92mm | 4.8mm |
| 工作距离 | 5.3mm | 18.2mm | 39mm |
| 光斑间隙 | 5μm | 10μm | 25μm |
| 光斑大小 | 2μm | 4μm | 10μm |
| 爬坡坡度 | ±44deg | ±33deg | ±20deg |
| 测量范围 | 200μm | 950μm | 4mm |
| 轴向分辨率 | 30nm | 120nm | 500nm |
| 90nm | 360nm | 1.5μm | |
| 厚度分辨率 | 15μm | 70μm | 300μm |
| 测量厚度 | 300μm | 1.5mm | 6mm |
3D表面粗糙度仪TR scan图片展示
